一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE

儀器簡(jiǎn)介：

    新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具，工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

技術(shù)參數(shù)：

·光譜范圍：450-1000 nm

·多種微光斑自動(dòng)選擇

·專利光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面

·CCD探測(cè)器

·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

·70度角入射

主要特點(diǎn)：

·完全自動(dòng)化設(shè)計(jì)，一鍵式操作，直接報(bào)告輸出

·液晶調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件

·CCD探測(cè)系統(tǒng)，快速全譜輸出

·多個(gè)微光斑尺寸選擇，專利可視技術(shù)

·封閉式樣品倉(cāng)

聯(lián)系人：

袁文軍  +86-21-31255909    +86-21-13761090949      郵箱：yuanwenjun@sunano.com.cn