儀器簡(jiǎn)介：

    Cascade Microtech 的 M150測(cè)量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái)，解決了一系列的測(cè)量難題。該探針臺(tái)采用了一種模塊化設(shè)計(jì)，提供了眾多的配置可能性，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測(cè)量的需要。M150 可提供三種預(yù)配置的探針臺(tái)，均針對(duì)您的應(yīng)用及預(yù)算而優(yōu)化。您可以通過(guò)確定最適合自己當(dāng)前需要的 M150 模塊來(lái)設(shè)計(jì)特有的探針臺(tái)，或?qū)ψ约含F(xiàn)用的 M150 進(jìn)行升級(jí)以滿足未來(lái)的測(cè)量需求。

    優(yōu)越的應(yīng)用靈活性使得M150能滿足DC和RF測(cè)量、器件和晶圓表征測(cè)試（DWC）、失效分析（FA）、亞微米探測(cè)、MEMS和光學(xué)工程測(cè)量；M150也能用作一個(gè)靈活的探頭卡，實(shí)現(xiàn)wafer級(jí)的可靠性應(yīng)用（WLR），能同時(shí)配備多達(dá)20個(gè)探針座。

技術(shù)參數(shù)：

基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面積 Z軸可移動(dòng)范圍 
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm 
多功能平臺(tái) 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2

X-Y-θ平臺(tái) XY范圍 最小步長(zhǎng) θ范圍 晶圓范圍 
真空運(yùn)行平臺(tái) 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm 
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 155mm x 155mm 2μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 250mm 
快速運(yùn)行平臺(tái) 155mm x 155mm 1μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 275mm

DUT支架 卡盤(pán) 基底 平整度 三軸接頭 絕緣層 附加卡盤(pán) 
150mm卡盤(pán) 150mm真空卡盤(pán) 晶圓，陶瓷 ＜10μm Yes ＞100GΩ 2個(gè)獨(dú)立的卡盤(pán)，且還有一個(gè)附加卡盤(pán) 
PCB 150mm寬支架 PCB，移動(dòng)裝置 NA NA NA NA

顯微鏡支架 移動(dòng)范圍（XY） Z方向 最小步長(zhǎng) 
臂式支架 ＞150mm x 150mm NA NA 
LAHS顯微鏡支架 150mm x 150mm 可選，最大為100mm 2μm

主要特點(diǎn)：

 1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、多功能；

2. 平臺(tái)配置可滿足DC、RF和亞微米測(cè)量；

3. 獨(dú)特的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升級(jí)；

4. 量程大、可配探針配件；