儀器簡介：

納米壓印的技術與工藝特點，獨創(chuàng)性地設計和制備工作于低真空環(huán)境下，結合正負壓可控調節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅動力的，通過壓力傳導裝置、緩沖與勻壓、壓力調節(jié)控制裝置等手段實現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程，借助于多種靈活的自動調節(jié)裝置的巧妙設計與運用，實現(xiàn)壓印中的自動找平調控，以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復制轉移。

技術參數(shù)：

YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng)： 

溫度范圍從室溫到350攝氏度； 
壓力范圍從0到20個PSI（在4英寸晶元上）； 
紫外曝光系統(tǒng)； 
真空范圍從1個標準大氣壓到0.1帕； 
水冷系統(tǒng)； 
樣品尺寸直徑最大4英寸； 
PLC遠程控制，帶觸摸屏； 
手動裝載樣品和模板； 
自帶機器控制軟件； 
在軟件控制下可實現(xiàn)自動增加和釋放壓力； 
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機。 

YPL-NIL-SI400 NANOIMPRINT SYSTEM 
*Thermal Imprinter
Temperature range of R.T. to 350℃ 
Pressure range of 0 to 20 atm 
*UV exposure system 
*Vacuum range of 1atm to 10-1 Pa 
* Sealed Bellows 
*Wafer/Mask Holders: maximum 4 inch dia. Samples: Smart Sample Holder for 
irregular shaped samples and piece parts. 
*Control electronics 
*PLC control and Touch Screen 
*Manual loading and unloading of wafers and masks 
*Proprietary Machine Control Software 
Including (A) SI400 nanoimprint system (B) training, Warranty, other, and (C) Options

主要特點：

該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復制，并通過各項功能與過程參量的優(yōu)化與篩選，通過遠程PLC控制系統(tǒng)結合觸摸屏單元，實現(xiàn)納米壓印全過程的實時監(jiān)控與全自動化控制。