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使用范圍：
對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：
單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：
激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。
其他產(chǎn)業(yè)用機(jī)器發(fā)熱部分的冷卻：
等離子熔接、自動(dòng)包裝機(jī)、模具冷卻、洗凈機(jī)械、鍍金槽、精密研磨機(jī)、射出成型機(jī)、樹脂成型機(jī)的成型部分等。
分析檢測(cè)機(jī)器的發(fā)熱部分的冷卻：
電子顯微鏡的光源、ICP發(fā)光分光分析裝置的光源部分、分光光度計(jì)的發(fā)熱部分、X線解析裝置的熱源、自動(dòng)脈沖調(diào)幅器的發(fā)熱部分原子吸光光度計(jì)的光源等。
產(chǎn)品概述
l 節(jié)省水資源，可以使用水兌乙二醇混合液進(jìn)行循環(huán)制冷，節(jié)約資源；嚴(yán)密的循環(huán)管路設(shè)計(jì)，防止循環(huán)水污染，延長(zhǎng)循環(huán)水的使用時(shí)間；
l 高性能循環(huán)泵，可保證每天連續(xù)24小時(shí)運(yùn)行；
l PID 溫控技術(shù)，內(nèi)置PT100傳感器航空插件，保證了溫度控制的精確性；
l 成熟的無氟制冷技術(shù)；
l 具有自我診斷功能；冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能；
技術(shù)指標(biāo)：
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型號(hào)
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LX-10
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LX-25
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LX-40
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LX-70
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LX-10A
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LX-145
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LX-20A
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溫度范圍
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-25.0～40.0℃
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溫控精度
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±1℃
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制冷量
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20℃
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1000W
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2500W
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4000W
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7000W
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10000W
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14500W
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20000W
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0℃
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700W
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1500W
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2400W
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4000W
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7500W
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10000W
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15500W
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-20℃
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300W
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550W
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800W
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1500W
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3500W
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5000W
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7300W
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泵流量
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20L/min 1.5bar
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50L/min 1.8bar
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安全保護(hù)
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具有自我診斷功能；冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能
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冷卻方式
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水冷或風(fēng)冷
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溫度探頭
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PT100 控制外圍設(shè)備
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加注冷媒
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R404A
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整機(jī)重量
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75kg
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90kg
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110kg
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135kg
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165kg
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195kg
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240kg
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電源
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AC 220/380V 50/60HZ
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