一、 電鏡主機
（一） 鏡筒部分
1. 鏡筒
電子槍為自給偏壓三極電子槍，鎢絲陰極。柵帽到陽極的距離可調，特別適合低加速電壓工作的需要，并可在外部進行對中調整。還設有電磁對中調整。電子光學鏡筒為三級電磁透鏡（兩個聚光鏡，一個物鏡）。采用國際領先技術算法設計的錐形物鏡，在獲得高質量電鏡圖象的同時，使配接的能譜儀信號采集效率大幅提高。在透鏡中間有真空密封的電子束通道管，以利于清洗。物鏡光闌為外部可調的三個光闌。整個鏡筒由坡莫合金罩屏蔽。二次電子象分辨率優(yōu)于3.0nm。
2. 翻開式電子槍
具有大翻開角，使更換燈絲輕松、方便。
3. 專用大樣品室和大樣品臺
樣品室內部尺寸：Φ300×280mm。設有8個接口，可裝配背反射電子探測器、X光能譜儀和X光波譜儀等多種探測器同時使用。
樣品臺位移X=80mm，Y=60mm，Z=50mm，可連續(xù)旋轉360°，傾斜范圍0～90°，可觀察樣品Φ80mm，最大樣品Φ110mm。
4. 高真空鏡筒隔斷閥
該閥用于更換樣品時切斷電子槍及樣品室通道，保證電子槍始終處于高真空狀態(tài)，縮短換樣品時間，降低換樣品時對系統(tǒng)的污染程度。

（二） 電氣控制柜
1. PC計算機及操作系統(tǒng)
采用XP操作系統(tǒng)，用于管理整個系統(tǒng)。圖象可隨時存儲在機內的大容量硬盤及軟盤上，或輸出由打印機打印。
2. 圖象顯示系統(tǒng)
實現1024×768顯示方式。圖像具有256個灰度等級，圖像層次豐富細致，可在圖象上進行字符編輯，標記顯示，實時顯示放大倍數，μ標尺，加速電壓，還可顯示各種灰度曲線，處理結果，同屏顯示實時圖像或多幅圖像并可顯示各種不同處理后的結果。
3. 圖象采集系統(tǒng)
該系統(tǒng)可對SEM的二次圖像、背反射圖像進行采集。通過軟件編程，可實現對視頻進行調解，以達到對用戶有用信號幅值進行256個灰度級的數字量化。
4. 圖象處理模塊
采用現場可編程邏輯控制器件，可實現實時濾波功能，具有體積小，速度快，功能強的特點。
5. 圖像、菜單采用17”彩色顯示器顯示
6. 放大倍數，工作距離自動修正，數字實時顯示及CRT實時顯示
放大倍數 5～300,000倍