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型號(hào) |
SV120 |
SV130 |
SV140 |
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量測(cè)行程（X/Y/Z) |
200x150x150mm |
300x200x150mm |
400x300x200mm |
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外觀尺寸（L/W/H) |
600x600x910mm |
700x700x940mm |
750x900x1100mm |
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整機(jī)重量 |
165kg |
225kg |
465kg |
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機(jī)臺(tái)負(fù)重 |
20kg |
25kg |
30kg |
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床臺(tái)材質(zhì) |
鋼質(zhì)-表面硬化防刮處理 |
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基座材質(zhì) |
花崗石基座 |
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X/Y精度 |
Uxy=3.0+L/150μm |
Uxy=3.0+L/150μm |
Uxy=3.0+L/150μm |
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Z精度 |
Uz=3.0+L/100μm |
Uz=3.0+L/100μm |
Uz=3.0+L/100μm |
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X/Y重現(xiàn)精度 |
Uxy=3.0 |
Uxy=3.0 |
Uxy=3.0 |
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Z重現(xiàn)精度 |
Ux=3.0 |
Ux=3.0 |
Ux=3.0 |
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光學(xué)尺分辨率 |
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攝影機(jī) |
高分辨率彩色CCD, 768x494 Pixel Array |
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輪廓光源 |
LED,可調(diào)整式 |
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表面光源 |
LED環(huán)型光源，可調(diào)整式，三環(huán)光 |
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鏡頭 |
無(wú)段變倍鏡頭（0.75～5X) |
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量測(cè)軟件 |
QM-2800幾何量測(cè)軟件（可選用其它量測(cè)軟件） |
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μ-Star sv-120