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型號 |
Vertex251 |
Vertex12x12 |
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XY 精度 |
Uxy=2.0+L/250 |
Uxy=2.6+L/175 |
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Z 精度 |
Ux=2.5+L/150 |
Ux=3.0+L/150 |
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XY 重現(xiàn)性 |
2.0μm |
2.5μm |
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Z 重現(xiàn)性 |
2.0μm |
2.0μm |
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XY 加速度 |
500mm/S2 |
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Z 加速度 |
200mm/S2 |
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XY 移動速度 |
250mm/s |
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Z 移動速度 |
100mm/s |
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光學(xué)尺分辨率 |
1.0μm, 0.5μm, 0.1μm |
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量測行程 |
200x150x150mm |
300x300x150mm |
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外形尺寸 |
760x635x965mm |
1090x865x990mm |
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重量 |
60kg |
125kg |
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承載重量 |
7.5kg |
12kg |
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基座材質(zhì) |
鋁合金(花崗巖選購l) |
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傳動方式 |
Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z |
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電控系統(tǒng) |
伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo), 搖桿 |
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光學(xué)系統(tǒng) &放大倍率 |
12:1 光學(xué) Zoom, 17-410x 或 6.5:1光學(xué) Zoom, 20-250x |
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影像 & 光源 |
紅光LED (黑白系統(tǒng))或白光 LED(彩色系統(tǒng)) |
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軟件 |
InSpec for Windows Metrology Software |
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工作環(huán)境 |
20℃±2°,30-80% 濕度 |
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Vertex251光學(xué)投影機