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-145℃水汽捕集泵
-145℃ Water vapor cryopump
-145℃ Water vapor cryopump
冷凝盤管的制作
根據(jù)設(shè)備的實(shí)際情況，我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤管。
輸入、輸出的接口
冷凝盤管從真空腔內(nèi)穿過腔壁時(shí)，由于管道溫度與腔壁溫差較大，如果直接焊接，冷量將會(huì)有較大損失，腔壁結(jié)霜嚴(yán)重。這就需要一個(gè)長(zhǎng)約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來解決，它可以做成活口（見圖），也可以不用密封墊，直接焊接到真空腔壁。
-145℃水汽捕集泵
-145℃ Water vapor cryopump(Polycold)
（提供Polycold冷媒及維修）
水汽捕集泵又稱：POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵
應(yīng)用原理:
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、 10-5 Pa)。
在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置。
根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.
本公司研發(fā)生產(chǎn)的-145℃深冷水汽捕集泵，采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口名牌壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌闲椭评鋭┥a(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位，達(dá)到甚至超過國(guó)際先進(jìn)水平。
主要的性能特點(diǎn)
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%；
2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，最低可到-150℃；
3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;
4、一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出；
5、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)?；旌闲椭评鋭?
6、完善的自動(dòng)化控制；
7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫 度顯示；
8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開始制冷；
9、除霜溫度自由設(shè)定；
10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；
11、缺水、水溫過高報(bào)警；
12、壓縮機(jī)排氣過高、壓力過高保護(hù)；
13、電源斷電、缺相報(bào)警；
14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；
15、R232計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。
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型 號(hào)
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TH-145-3P
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TH-145-5P
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TH-145-7P
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TH-145-10P
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TH-145-12P
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TH-145-15P
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壓縮機(jī)功率(KW)
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2.8
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4.6
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6.3
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8.5
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10.1
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12.3
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工作溫度（℃）
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-120℃至-150℃
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抽氣速度（l/s）
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30600
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51000
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73,000
|
101,000
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153,000
|
250,000
|
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制冷量（W）
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300
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500
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1200
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1800
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2500
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3500
|
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冷凝管表面積(m2)
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0.15
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0.3
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0.5
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0.7
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1.2
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2. 0
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冷凝管長(zhǎng)度
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8m,φ6mm
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10m,φ10mm
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12m,φ12mm
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14m,φ16mm
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24m,φ16mm
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40m,φ16mm
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預(yù)冷時(shí)間（min）
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≤30
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≤30
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≤30
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≤30
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≤40
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≤40
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降溫時(shí)間（min）
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≤3
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≤3
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≤3
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≤3
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≤4
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≤5
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除霜時(shí)間(min)
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≤3
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≤3
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≤3
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≤3
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≤3
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≤3
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再降溫時(shí)間(min)
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≤5
|
≤5
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≤5
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≤5
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≤6
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≤6
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適用油擴(kuò)散泵徑（mm）
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≤300
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≤500
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≤800
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≤1000
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雙路輸出
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雙路輸出
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冷卻方式
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風(fēng)冷、水冷(t≤30℃)
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水冷(t≤30℃)
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水冷(t≤30℃)
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水冷(t≤30℃)
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水冷(t≤30℃)
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