產(chǎn)品氣流量：1-3000Nm3/h 產(chǎn)品純度：>99.99999% 處理氣體介質(zhì)：氫氣、氮?dú)狻鍤饧捌渌栊詺怏w 特點(diǎn)：本產(chǎn)品可現(xiàn)場(chǎng)再生，材料選用不銹鋼拋光材料，處理精度高，流量大，壽命10年以上，經(jīng)過凈化后的氣體可達(dá)到ppb級(jí)凈化。 適用范圍：微電子、半導(dǎo)體工業(yè)、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、氣體分析（載氣、零點(diǎn)氣）、研發(fā)。